1. Определение основных параметров и ценности процесса.

Он полуавтоматическая машина для ламинирования вафель Это высокоточное оборудование для склеивания, разработанное специально для полупроводниковых пластин. Оно в основном выполняет точное склеивание, фиксацию и резку пластин, а также резку/защитных пленок, обеспечивая стабильную опору для последующего истончения, нарезки и захвата чипов. Основная технологическая ценность отражается в трех аспектах:

Защита поверхности: изоляция от царапин, загрязнений и окисления, защита передней/задней части печатной платы;

Фиксация в процессе обработки: прочно закрепите пластину на металлической раме, чтобы предотвратить разлетание и смещение стружки во время резки;

Адаптивный захват: поддерживает склеивание с помощью антиадгезионной пленки под воздействием УФ-излучения, при этом адгезия снижается после УФ-облучения, что позволяет легко захватывать микросхемы без повреждений.

По сравнению с чисто ручным нанесением пленки, оно исключает такие дефекты, как пузырьки, складки и несовпадение; по сравнению с полностью автоматическими машинами для приклеивания пленки, оно имеет меньшие размеры, меньшие инвестиции, гибкость переключения и подходит для производства различных видов продукции и мелкосерийного производства.

2-ключевых компонентных модуля

Рабочий стол для вакуумной адсорбции: вакуумная фиксация пластин предотвращает их смещение во время склеивания, обеспечивая быструю смену размеров, таких как 4/5/6/8 дюймов;

Система транспортировки мембранных материалов: автоматическая протяжка пленки, контроль натяжения, подходит для широко используемых расходных материалов, таких как синяя пленка, УФ-пленка, пиролизная пленка и т. д.;

Гибкий механизм склеивания: антистатическое роликовое/воздушное сжатие, линейно регулируемое давление, обеспечивающее склеивание без пузырьков и царапин;

Устройство для резки и приемки: автоматическая резка пленки с помощью кругового/пружинного ножа, автоматическая намотка отходов пленки и изоляционной бумаги, что снижает необходимость ручного вмешательства;

Система управления и безопасности: настройка параметров с помощью сенсорного экрана, защита световой завесой, аварийная остановка, соответствие требованиям безопасности SEMI.

3. Технические характеристики и основные преимущества

Стабильная точность: отклонение при посадке составляет ≤± 0,5 мм, без пузырьков или складок, а выход годной продукции значительно выше, чем при ручной обработке;

Гибкая адаптация: поддержка кремниевых, карбидных кремниевых, арсенидных галлиевых и других пластин, возможность крепления лицевой маски спереди и сзади;

Экономичность: инвестиции в оборудование составляют всего от одной трети до одной пятой от инвестиций в полностью автоматические модели, при этом оно занимает мало места и не требует сложного обслуживания;

Простота в эксплуатации: запуск одним нажатием кнопки, предустановленные параметры, ручная погрузка и разгрузка, что снижает требования к квалификации персонала;

Экологичность и совместимость: вся машина изготовлена из антистатических материалов с низким уровнем пылеобразования, что делает ее подходящей для чистых помещений класса 100/1000.

4-стандартный рабочий процесс

Позиционирование при загрузке: вручную поместите пластину на вакуумный рабочий стол, адсорбируйте и зафиксируйте ее;

Транспортировка мембранного материала: оборудование автоматически оттягивает клейкую пленку, чтобы покрыть пластину и металлическую рамку;

Склеивание под давлением: ролик/воздушная подушка равномерно прижимается для выпуска воздуха, обеспечивая полное сцепление пленки и подложки;

Точная резка: автоматическая резка пленки по контуру подложки с сохранением необходимых полей;

Резка и прокатка материала: готовое изделие извлекается вручную, а оборудование автоматически сматывает отработанную пленку и переходит к следующему циклу.