The машина для монтажа пластин Является ключевым компонентом оборудования в производстве полупроводников. Он используется для точного ламинирования синей/УФ-пленки на утонченные пластины, обеспечивая поддержку и защиту. Он применяется в таких ситуациях, как фиксация пластин, поддержка перед нарезкой и временное склеивание при 3D-корпусной обработке.

Принцип работы

1. Процесс: Роботизированный манипулятор с помощью вакуумного отсоса захватывает пластину и плотно прижимает её к центру предварительно растянутой плёнки. Не должно быть пузырьков и посторонних частиц. В некоторых случаях для улучшения адгезии требуется нагрев до 60–80 °C. Требования к точности: смещение ≤ ±50 мкм и диаметр пузырьков ≤ 1 мм.

2.Ключевые компоненты:

Устройство для всасывания материала: Антистатические силиконовые присоски используются для обеспечения равномерного всасывания и предотвращения повреждений.

Система юстировки: Высокоточное визуальное позиционирование с помощью ПЗС (достижение ±5 мкм в 2025 году).

Модуль контроля температуры: обеспечивает равномерность низкотемпературного нагрева.

Руководство по использованию:

1. Предварительная обработка: пластина должна быть без фрагментов и трещин. Высота чернильной точки должна быть < 25,4 мкм, а глубина канавки на протравленной пластине должна быть ≤ 10 мкм.

2. Выбор материала плёнки: Обычно используется синяя плёнка с адгезией 80–95 мкм. Для сверхтонких пластин используется УФ-плёнка с низким уровнем стресса. Храните плёнки в соответствии с правилами.

3. Характеристики работы: Запустите машину без нагрузки для калибровки системы выравнивания. После ламинирования дайте пластине постоять 5 минут перед переносом.

4. Устранение неисправностей: При наличии пузырьков прокатайте их валиком без пыли. В случае смещения очистите присоски и откалибруйте ПЗС-матрицу. Если смещение постоянное, проверьте смазку направляющей.

Технологический прогресс в 2025 году

1. Совместимость с различными размерами: для поддержки смешанного линейного производства пластин размером 6/8/12 дюймов доступны быстросменные паллеты, что обеспечивает эффективное переключение.

2. Интеллектуальная настройка: алгоритмы ИИ оптимизируют параметры, достигая выхода 99,7% и сокращая объем ручной отладки.

3. Адаптация УФ-пленки: добавлен новый модуль УФ-облучения для поддержки переключения фоторасщепляемых пленочных материалов.

Техническое обслуживание и безопасность

Регулярно очищайте оборудование, проверяйте присоски и ПЗС-линзы, калибруйте модуль контроля температуры и своевременно заменяйте уязвимые детали.

Обеспечьте надежное заземление, избегайте прикосновения к движущимся частям и зонам с высокой температурой во избежание поражения электрическим током, механических травм и ожогов.